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英特尔和大日本印刷将把掩膜技术开发合作扩展到32nm工艺
 
http://www.paper.com.cn  2006-01-23 日经BP社报道

    关于半导体制造工艺使用的掩膜技术开发,英特尔和大日本印刷日前宣布,将把现有的合作关系扩展到32nm工艺(hp45)。具体来说就是,将在EUV(Extreme Ultraviolet,远紫外)曝光掩膜技术的开发中进行合作。

  2000年以后,英特尔和大日本印刷在180nm到45nm(hp65)半导体制造工艺的掩膜技术开发中进行了合作。根据此次的决定,在保持现有合作关系的同时,将进一步强化未来的合作。

  作为现有ArF曝光的下一代技术,在国际半导体技术开发蓝图(ITRS)中十分看好EUV曝光技术。为了实现EUV曝光,英特尔和大日本印刷将通力合作,以便能在适当的时期提供掩膜技术。

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